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DVIA-MO系列主动隔振光学平台

说明：DVIA-MO 系列高精密主动隔振光学平台是由台面和主动隔振支撑两部分组成。

台面采用真蜂窝三层夹心式结构，上台面为热形变系数很小的 430 系列高导磁镍合不锈钢，台面按照 25mmX25mm 孔距均布 M6 螺纹孔， 方便安装仪器，每个螺纹孔下方具有***的隔离杯，方便清洁。中间是真蜂窝支撑结构，是把 0.25 毫米厚度的钢板加工成蜂巢的结构，增加了台面结构的密度，减小体积，采用***的粘合工艺，坚固耐用。1mm?静负载:300Kg~800Kg?工作气源:3~5Kgf/cm2压缩空气或氮气瓶?顶板结构:蜂窝内核三层夹芯结构?内核：强化钢板蜂窝(0。台面的底部和侧板用碳钢作为主体材料，具有非常优1秀的动态和静态的刚性。

主动隔振支撑部分主要包括了被动隔振机构和主动隔振器DVIA-M， 每个支撑里面一般会有 4 个 DVIA-M 系列主动隔振器和一台主控箱。主动隔振器包含了采集信号的传感器和消除振动的驱动器，主要消除 0.5- 10Hz 的外部振动 , 被动隔振系统部分同时承担着支撑负载和隔绝高频率振动的作用。这样一来，就可以提供比采用单一尺寸柔量曲线表示所有产品特性的工业标准更数据。

这个系列的平台可以在低频范围（0.5-10Hz）提供非常***隔振性能，它可以应用于很多对振动要求非常高，甚至具有挑战的领域，比如高分辨率的光谱仪，高分辨率电子显微镜和精密纳米科学研究和制备等。

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测量方法

使用脉冲锤对平台或面包板的表面施加一个已测量的外力，并将一个传感器贴合在平台或面包板表面对合成振动进行测量。

探测器发出的信号通过分析仪进行读取，并用于产生频率响应谱(即柔量曲线)。在光学平台的研发过程中，对平台表面上很多点的柔量曲线进行记录;但是，平台四个角上的柔量往往都是较大的。主要配件支撑架光学平台包括刚性、无隔振支撑架，被动式隔振支撑架，主动式自动调平支撑架。因此公司发布的柔量曲线和数据都是通过平传感器在台四个角上测得的，因此说明了***不理想情况下的数据结果。

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光学平台如何进行表面粗糙度的测定？

1、触针法

当触针直接在工件被测表面上轻轻划过时，由于被测表面轮廓峰谷起伏，触针将在垂直于被测轮廓表面方向上产生上下移动，这种移动量通过电子装置把信号转换为电信号，经放大、滤波、计算后由显示仪表指示出表面粗糙度数值，也可用记录器记录被测截面轮廓曲线。钢制部件在热交换过程中的延伸性和收缩性是相似的，可以在温度变化过程中保持良好的平整度。

通过电子计算电路或电子计算机，它能自动计算出轮廓算术平均偏差Ra，微观不平度十点高度Rz，轮廓高度Ry和其他多种评定参数，测量效率高，适用于测量Ra为0.025～6.3微米的表面粗糙度。

2、比较法

比较法测量简便，使用于车间现场测量，常用于中等或较粗糙表面的测量。方法是将被测量表面与标有一定数值的粗糙度样板比较来确定被测表面粗糙度数值的方法。

比较时可以采用的方法：Ragt;1.6μm 时用目测，Ra1.6~Ra0.4μm 时用放大镜，Ralt;0.4μm 时用比较显微镜。比较时要求样板的加工方法，加工纹理，加工方向，材料与被测零件表面相同。